成大自动虚拟量测 提升产值

【新唐人2012年2月2日讯】（中央社记者许秩维台北2日电）成功大学研究团队研发全自动虚拟量测技术，改善零件原本只能抽测和浪费时间的问题，还可即时监测，可帮助半导体、面板和太阳能产业，每年增加2000万到3000万美元的产值。

研究团队负责人、成功大学E化制造研究中心主任郑芳田表示，为节省成本，传统的晶圆厂采取抽检方式进行品质监测，但这样不但无法进行全面控管，只要花5、6分钟生产的晶圆，还得耗费4个小时才能得出抽测结果。

郑芳田表示，团队研发的全自动虚拟量测技术，利用生产机台的参数进行虚拟量测，不只让抽检变成全检，还可进行线上和即时监测，而且只需花费几秒钟，可帮助产业每年增加2000万到3000万美元的产值。

全自动虚拟量测技术现已取得台湾、中国大陆、美国、日本和韩国等5国专利。郑芳田说，已和科技公司合作技转，未来会将技术商品化，希望能推销到全世界。