“原子针尖断层影像仪”助先进制程材料解析

【新唐人北京时间2023年04月19日讯】国科会今天(19日)在新竹的国研院半导体中心,发布“原子针尖断层影像仪”(APT)研究成果,可提供高解析度、3D材料分析,突破半导体解析局限,堪称半导体与材料的原子级电脑断层分析,不仅对半导体产业有所助益,更可扩展到多种前瞻应用材料。

台湾大学材料科学与工程学系教授 颜鸿威:“在材料或者是半导体的研究中,可能少数原子的移动、或者是扩散、或者说这些原子分布的位置不对,就会造成元件或材料性能的丧失或衰减。所以我们必须去了解,这些原子是不是照着我们在制造材料的时候,或制作元件的时候,照着我们的想法走。那“APT”(原子针尖断层影像仪),其实它所呈现的数据,相当于我们人类在做断层扫描,或者是更白话一点,它很像原子的GPS,所以我们可以在材料内部定义或定位,每个原子的位置跟种类,就像我们GPS在追踪一样。”

新唐人亚太电视 林秋霞 台湾新竹采访报导

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